불량원인 분석, 5um 정도 이물 혼입제품의 원인 규명, 화학조성 분석 등에 응용
미지 시료나 구성 성분을 알고 있는 시료에 대해 IR-Beam의 광 흡광도/투과도를 봄으로써 시료가 가지고 있는 IR-Beam에 대한 고유 지문영역(Finger Print)을 이용하여 정성/정량분석을 하는 장비로 모든 유기물, 무기물, 반도체 Wafer, polymer 등은 물론 미지 화합물을 연구할 수 있는 분석 장비
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