시료를 고주파 유도코일에 의하여 형성된 아르곤 플라즈마에 도입하여 6,000~8,000K에서 여기 된 원자가 바닥상태로 이동할때 방출하는 발광선 및 발광강도를 측정하여 원소의 정성 및 정량분석에 이용
1. 세라믹 소재 및 제품중의 무기원소의 정성 및 정량분석
2. 광물 및 지질시료중의무기원소의 정성 및 정량분석
3. 세라믹 원료 및 화학원료중의 미량 무기원소의 정량분석
4. 전기전자부품중의 유해중금속 분석
5. 환경시료(물, 토양, 폐기물)중의 유해중금속 및 미량원소 분석
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