시료의 표면에 특성 X-선을 입사하여, 방출하는 광전자의 에너지를 측정함으로써 시료표면의 조성 화학적인 결합상태 확인
반도체 소재, 박막, 금속, 화합물, 유리, 촉매, 고분자 및 나노 소재등의 표면 및 계면 특성분석
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